隨著半導(dǎo)體制程技術(shù)的飛速發(fā)展，芯片線寬已經(jīng)進(jìn)入納米級(jí)。與此同時(shí)，氣態(tài)分子污染物(AMC)也比顆粒污染物小了幾個(gè)數(shù)量級(jí)，逐漸取代顆粒污染物成為影響產(chǎn)業(yè)制程產(chǎn)率的關(guān)鍵因素之一。對(duì)微電子半導(dǎo)體制造業(yè)來說，氣態(tài)污染物會(huì)危害生產(chǎn)工藝的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，造成半導(dǎo)體晶體表面的氧化和侵蝕，引起成品合格率降低。因此，微電子廠房?jī)?nèi)分子級(jí)空氣污染的控制也越來越重要。

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